[发明专利]平行金属互连结构的形成方法

摘要

一种平行金属互连结构的形成方法，包括：提供基底，在基底上形成若干平行的牺牲栅极；在牺牲栅极的四周侧壁形成侧墙；在基底上形成介质层，介质层覆盖牺牲栅极和侧墙；化学机械研磨介质层，并过研磨去除部分厚度的牺牲栅极和侧墙；去除剩余的侧墙，形成环绕牺牲栅极的凹槽；在凹槽中填充满金属，形成金属侧墙；形成覆盖介质层、牺牲栅极和金属侧墙表面的硬掩膜层，所述硬掩膜层具有第一开口和第二开口，第一开口和第二开口暴露牺牲栅极两端的沿宽度方向分布的金属侧墙；沿第一开口和第二开口刻蚀去除的暴露的金属侧墙，剩余的金属侧墙构成平行的金属互连结构。提高了金属互连结构本身宽度和相邻金属互连结构之间间距的精度。

主权项

一种平行金属互连结构的形成方法，其特征在于，包括：提供基底，在所述基底上形成若干平行的牺牲栅极，每个牺牲栅极的长度相等；采用自对准无掩膜等离子体刻蚀工艺，在牺牲栅极的四周侧壁表面形成侧墙；在所述基底上形成介质层，所述介质层覆盖所述牺牲栅极和侧墙；采用化学机械研磨工艺研磨所述介质层，并过研磨去除部分厚度的所述牺牲栅极和侧墙，使剩余的侧墙的顶部的宽度变大；去除剩余的侧墙，形成环绕所述牺牲栅极的凹槽；在凹槽中填充满金属，形成金属侧墙；形成覆盖所述介质层、牺牲栅极和金属侧墙表面的硬掩膜层，所述硬掩膜层具有第一开口和第二开口，第一开口和第二开口暴露牺牲栅极两端的沿宽度方向分布的金属侧墙；沿第一开口和第二开口刻蚀去除牺牲栅极两端的沿宽度方向分布的金属侧墙，剩余的沿牺牲栅极长度方向分布的金属侧墙构成平行的金属互连结构。