[发明专利]气相沉积装置和方法以及制造有机发光显示装置的方法有效
| 申请号： | 201210241887.4 | 申请日： | 2012-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN102881550B | 公开（公告）日： | 2017-03-01 |
| 发明（设计）人： | 俆祥准;许明洙;金胜勋;金镇圹;宋昇勇 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司11286 | 代理人： | 薛义丹 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于有效地执行沉积工艺以在基底上形成具有改善特性的薄膜的气相沉积装置和方法以及一种制造有机发光显示装置的方法。气相沉积装置包括室，包括排放口；架台，设置在室内，并包括将基底设置在其上的安装表面；注入部分，包括至少一个注入开口，通过所述至少一个注入开口沿与基底的将形成有薄膜的表面平行的方向注入气体；等离子体发生器，设置成与基底分开并面向基底。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 装置 方法 以及 制造 有机 发光 显示装置 | ||
【主权项】：
一种用于在基底上形成薄膜的气相沉积装置，所述气相沉积装置包括：室，具有排放口；架台，设置在室内，并包括被构造成将基底安装在其上的安装表面，其中，安装表面设置成与重力作用的方向平行；注入部分，具有至少一个注入开口，通过所述至少一个注入开口沿与基底的将形成有薄膜的表面以及重力平行的方向注入气体；等离子体发生器，设置成与基底分开并面向基底，其中，等离子体发生器包括多个模块，所述多个模块与重力作用方向平行地布置，所述多个模块中的每个模块包括：供应部分，经供应部分注入反应气体；等离子体电极；出口。
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