[发明专利]一种探针寿命自动测试系统有效
申请号: | 201210237310.6 | 申请日: | 2012-07-10 |
公开(公告)号: | CN102768348A | 公开(公告)日: | 2012-11-07 |
发明(设计)人: | 李军辉;刘灵刚;邓路华;张小龙;韩雷;王福亮 | 申请(专利权)人: | 中南大学 |
主分类号: | G01R35/02 | 分类号: | G01R35/02 |
代理公司: | 长沙市融智专利事务所 43114 | 代理人: | 颜勇 |
地址: | 410083 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明公开了一种探针寿命自动测试系统,包括触力传感器、探针、探针夹具、探针电极引出线、上下运动装置、四线式测试仪和对测试数据进行自动保存和实时数据分析的数据处理系统,其特征在于:所述上下运动装置的运动端上安装有所述探针夹具,所述探针夹具下方安装有探针,所述探针夹具上方安装有将所述探针的电极引出的电路板,所述电路板通过所述探针电极引出线与四线式测试仪的输入端连接,所述触力传感器固定在所述探针的正下方,所述触力传感器通过导线与所述数据处理系统连接,所述四线式测试仪的输出端与所述数据处理系统连接。本发明结构简单,测试数据精确,能实现探针使用寿命的自动评估。 | ||
搜索关键词: | 一种 探针 寿命 自动 测试 系统 | ||
【主权项】:
一种探针寿命自动测试系统,包括触力传感器、探针、探针夹具、探针电极引出线、上下运动装置、四线式测试仪和对测试数据进行自动保存和实时数据分析的数据处理系统,其特征在于:所述上下运动装置的运动端上安装有所述探针夹具,所述探针夹具下方安装有探针,所述探针夹具上方安装有将所述探针的电极引出的电路板,所述电路板通过所述探针电极引出线与四线式测试仪的输入端连接,所述触力传感器固定在所述探针的正下方,所述触力传感器通过导线与所述数据处理系统连接,所述四线式测试仪的输出端与所述数据处理系统连接。
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