[发明专利]一种大功率微波真空管钛泵电源系统

摘要

本发明属于等离子体加热领域，具体涉及微波加热系统中大功率微波真空管所需的钛泵电源系统。一种大功率微波真空管钛泵电源系统，应用于等离子体加热系统实验运行中，主要由220V交流调压器、5kV升压变压器、高压整流滤波装置、控制装置、保护装置、显示装置、电流检测装置、光纤信号转换装置、远程计算机和大功率微波真空管等部分组成；钛泵电源采用220V单相交流供电，通过220V交流调压器，将交流电压送至5kV升压变压器，变压器次级经高压整流滤波装置倍压整流滤波后输出0～5kV直流高压；钛泵电源远程监测监控采用光纤隔离技术，将电源的数字和模拟两种信号隔离后送给远程计算机进行控制和监测。

主权项

一种大功率微波真空管钛泵电源系统，应用于等离子体加热系统实验运行中，其特征在于：主要由220V交流调压器（1）、5kV升压变压器（2）、高压整流滤波装置（3）、控制装置（4）、保护装置（5）、显示装置（6）、光纤信号转换装置（9）、电流检测装置（8）、远程计算机（10）和大功率微波真空管（7）等部分组成；钛泵电源采用220V单相交流供电，通过220V交流调压器（1），将交流电压送至5kV升压变压器（2），变压器次级经高压整流滤波装置（3）倍压整流滤波后输出0～5kV直流高压；高压输出端口选用同轴连接器，该高压经同轴高压电缆传送至大功率微波真空管（7），供真空管内钛离子泵工作使用；电源设为低压和高压分级启动，高压启动后，给出电源工作信号，供加热系统其它设备使用，此信号给出后不受钛泵电源过流保护控制；关闭电源低压控制开关后信号取消；钛泵电源远程监测监控采用光纤隔离技术，将电源的数字和模拟两种信号隔离后送给远程计算机（10）进行控制和监测：由电源检测控制装置输出的电流检测模拟信号（12）通过压频转换器（14）送入光纤（16），再经频压转换器（18）转换后，与电源检测控制装置（11）输出的数字开关信号（13）一起，传送到PLC控制装置（15）和光端机（17），通过光端机（17）将所有信号送到远程计算机（10），最终由监测终端（19）和监控终端（20）对钛泵电源进行远程监测和监控；电流检测为分档显示，在0～10mA间设置不同档的电流分辨率；电源本地显示设计为表头形式，每档过流保护值与表头电流数值对应；远程监测终端对电流的监测通过分档识别信号实现：对于不同档的电流分辨率，分档识别信号输出不同的电压信号，从而在远程监控界面上，对应相应的电流分辨率。