[发明专利]长磁传感器及制造方法

摘要

本发明公开了一种具有大范围检测能力的长磁传感器，包括：外壳；长磁传感芯片，长磁传感芯片位于外壳内，其中，长磁传感器芯片为GMR效应磁敏感元件，GMR效应磁敏感元件包括基体；至少两段彼此平行且互相分开的GMR磁敏感薄膜，GMR磁敏感薄膜沉积在基体上；第一组电极对，敷设在GMR磁敏感薄膜的两侧；第二组电极对敷设在GMR磁敏感薄膜的两端。电性连接组件，电性连接组件位于外壳内部，且与磁传感芯片相连；线路支撑体，位于外壳内部且与电性连接组件套设连接，用于支撑长磁传感芯片和电性连接组件。本发明的长磁传感器具有结构简单，生产成本低，体积小，厚度薄，灵敏度高等特点。本发明还公开了一种长磁传感器的制造方法。

主权项

一种具有大范围检测能力的长磁传感器，包括：外壳；长磁传感器芯片，所述长磁传感器芯片位于所述外壳内，其中，所述长磁传感器芯片为GMR效应磁敏感元件，其中，所述GMR效应磁敏感元件包括：基体；至少两段彼此平行且互相分开的GMR磁敏感薄膜，所述GMR磁敏感薄膜沉积在所述基体上；第一组电极对，所述第一组电极对敷设在所述GMR磁敏感薄膜的两侧；第二组电极对，所述第二组电极对敷设在所述GMR磁敏感薄膜的两端，其中所述第一组电极对与所述第二组电极对分别独立与所述GMR磁敏感薄膜电性连接；电性连接组件，所述电性连接组件位于所述外壳内部，且与所述长磁传感芯片相连；以及线路支撑体，所述线路支撑体位于所述外壳内部且与所述电性连接组件套设连接，用于支撑所述长磁传感芯片和所述电性连接组件。