[发明专利]半导体检测系统的用户界面的显示方法有效
| 申请号： | 201210209915.4 | 申请日： | 2012-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN103513854B | 公开（公告）日： | 2017-03-01 |
| 发明（设计）人： | 周明澔;杨上毅;吴佳兴 | 申请（专利权）人： | 旺矽科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G06F3/0481 | 分类号： | G06F3/0481;G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙)11369 | 代理人： | 史霞 |
| 地址： | 中国台湾新竹县*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 半导体检测系统的用户界面的显示方法包括选择一检测功能；将该检测功能所需的多个临界条件，根据其属性，分类为不同的筛选群组；以及于该用户界面显示该些筛选群组并以图像方式表示各筛选群组之间的关系。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 检测 系统 用户界面 显示 方法 | ||
【主权项】：
一种于一半导体检测系统的一用户界面的显示方法，其特征在于，该显示方法包括：选择一检测功能；将该检测功能所需的多个临界条件，根据该多个临界条件于该半导体检测系统所使用的一算法中所使用的顺序或该多个临界条件的属性，分类为一初步筛选群组与一进阶筛选群组；以及于该用户界面显示该初步筛选群组与该进阶筛选群组并以一图像告知一用户该初步筛选群组、该进阶筛选群组与该检测功能是有关的；其中当一待测晶粒未通过该初步筛选群组时，表示该待测晶粒未通过该初步筛选群组所包括的一临界条件；当该待测晶粒未通过该进阶筛选群组时，表示该待测晶粒未通过该进阶筛选群组所包括的一临界条件；当该待测晶粒通过该初步筛选群组时，该半导体检测系统判断该待测晶粒通过该检测功能；当该待测晶粒未通过该初步筛选群组时，表示该待测晶粒有瑕疵而该半导体检测系统需继续以该进阶筛选群组对该待测晶粒进行检测以判断该待测晶粒的瑕疵是否在可接受范围内；当该待测晶粒通过该进阶筛选群组时，表示该待测晶粒的瑕疵是在可接受范围内。
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