[发明专利]一种多晶硅片生产装置及生产方法无效
| 申请号： | 201210206155.1 | 申请日： | 2012-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN102747419A | 公开（公告）日： | 2012-10-24 |
| 发明（设计）人： | 陈雪;叶宏亮 | 申请（专利权）人： | 常州天合光能有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06;B23K26/38 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 王凌霄 |
| 地址： | 213031 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅片生产装置及生产方法，包括密封的金属腔体，金属腔体的外壁上设有进气管和出气管，具有石英内层、用于融化多晶硅料的坩埚设在金属腔体内一侧，围绕坩埚四周设有加热器，坩埚下部具有落料口，落料口下方设有将融化硅液传送出金属腔体的流延平台，流延平台下方设有将流延平台分割成四个过渡温度区的分区加热器。本发明可减少传统硅片生产过程中繁琐的工序步骤，大幅度降低生产成本，整过生产过程中污染源极少，有利于提高硅片质量，保证了太阳能电池片质量的稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 硅片 生产 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种多晶硅片生产装置，包括密封的金属腔体（1），金属腔体（1）的外壁上设有进气管（2）和出气管（3），其特征是：具有石英内层、用于融化多晶硅料的坩埚（4）设在金属腔体（1）内一侧，围绕坩埚（4）四周设有加热器（5），坩埚（4）下部具有落料口（6），落料口（6）下方设有将融化硅液传送出金属腔体（1）的流延平台（7），流延平台（7）下方设有将流延平台（7）分割成四个过渡温度区的分区加热器（8）。
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