[发明专利]具有多区域控制的静电卡盘

摘要

一种用于夹紧弯曲工件的静电卡盘，具有包括介电层的夹紧面。介电层具有由不同介电材料形成的域和一个或多个区域。将一个或多个电极连接至电源，并且控制器控制通过电源提供给一个或多个电极的夹紧电压。感生与静电卡盘的介电层的每一个域和一个或多个区域相关的静电吸引力，其中，静电吸引力基于每一个域和一个或多个区域的介电材料而变化。一个或多个区域中的静电吸引力大于域中的静电吸引力，其中，将工件的弯曲区域吸附至夹紧面并且横跨弯曲工件的表面将弯曲工件夹到夹紧面。本发明还提供了具有多区域控制的静电卡盘。

主权项

一种静电卡盘，包括：夹紧面，包括介电层，其中，所述介电层包括域和在所述域中限定的一个或多个区域，其中，所述域包括第一介电材料，而所述一个或多个区域包括第二介电材料，其中，所述第一介电材料和所述第二介电材料中的每一种都具有与其相关的不同介电常数；以及一个或多个电极，与所述介电层相关，其中，提供给所述一个或多个电极的电压被配置成感生静电吸引力，所述静电吸引力与所述域和所述一个或多个区域中的每一个相关，并且所述静电吸引力基于所述域和所述一个或多个区域中的每一个的介电材料而变化。