[发明专利]除氧型单晶炉

摘要

本发明公开了一种除氧型单晶炉，包括置于炉体内上加热器、下加热器、以及围绕于硅单晶棒外热屏，上加热器、下加热器分别正对于坩埚的上部、下部，上加热器、下加热器分别连接有电源系统，所述的上加热器、下加热器分别呈方波状，上加热器的下端与下加热器的上端之间具有间隙，且上加热器大于下加热器的竖向高度，所述的上加热器下端与下加热器上端的间隙中设有隔热板，隔热板伸向坩埚；热屏的上端连接有热屏上盖，热屏上盖的下方设有上保温筒，所述热屏是由热屏外壳、热屏内壳及中间的热屏保温层组成，中央通道的纵剖面为梯形。使热场的底部温度下降且不影响晶体的生长，减小了传统热场顶部与底部的温差；加强了氩（氮）气流对固-液界面的吹拂，增强了氩（氮）气流携带结晶潜热的作用因此有利于单晶生长，并可以提高结晶速率，进而提高拉晶速率。

主权项

除氧型单晶炉，其特征在于：包括置于炉体内上加热器、下加热器、以及围绕于硅单晶棒外热屏，上加热器、下加热器分别正对于坩埚的上部、下部，上加热器、下加热器分别连接有电源系统，所述的上加热器、下加热器分别呈方波状，上加热器的下端与下加热器的上端之间具有间隙，且上加热器大于下加热器的竖向高度，所述的上加热器下端与下加热器上端的间隙中设有隔热板，隔热板伸向坩埚；热屏的上端连接有热屏上盖，热屏上盖的下方设有上保温筒，所述热屏是由热屏外壳、热屏内壳及中间的热屏保温层组成，热屏呈圆台状，且具有中央通道，热屏与热屏上盖之间的夹角为40‑50°，中央通道的纵剖面为梯形。