[发明专利]一种可调控介质层磁性的阻变存储器有效

专利信息
申请号: 201210186988.6 申请日: 2012-06-07
公开(公告)号: CN102738391A 公开(公告)日: 2012-10-17
发明(设计)人: 宋成;潘峰;陈光;彭晶晶 申请(专利权)人: 清华大学
主分类号: H01L45/00 分类号: H01L45/00;H01L27/24;G11C13/00
代理公司: 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 代理人: 关畅
地址: 100084 北*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种可调控介质层磁性的阻变存储器。该阻变存储其包括底电极、顶电极以及位于所述底电极和顶电极之间的介质层;其中,所述底电极和顶电极均为铂电极或者金电极;所述介质层为过渡金属Co、Fe和Ni等掺杂的氧化锌高阻态稀磁氧化物薄膜,该具有稀磁特性的ZnO薄膜由下述原子百分数的元素组成:过渡金属为1.0~3.0at.﹪,Zn为47.0~49.0at.﹪,其余为O。采用阻变的方式调控ZnO基稀磁氧化物存储介质层磁性的变化,这种磁性强弱的变化可以用作信息的存储,增加了信息存储的维度。
搜索关键词: 一种 调控 介质 磁性 存储器
【主权项】:
一种可调控介质层磁性的阻变存储器,包括底电极、顶电极以及位于所述底电极和顶电极之间的介质层;其特征在于:所述介质层为过渡金属掺杂的氧化锌薄膜。
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