[发明专利]磁传感器及其制造方法有效
| 申请号： | 201210174051.7 | 申请日： | 2012-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN102809732A | 公开（公告）日： | 2012-12-05 |
| 发明（设计）人： | 古市乔干;与仓久则;矢野敏史 | 申请（专利权）人： | 株式会社电装 |
| 主分类号： | G01R33/09 | 分类号： | G01R33/09 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 徐殿军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种磁传感器装置的制造方法，该磁传感器装置在向多个MRE(22)施加外部磁场的情况下，根据各MRE的电阻值的变化来检测物理量，该方法包括：准备基板(10、14、16)，在所述基板的上方形成具有磁化方向变化的自由磁性层(22c)和固定了磁化方向的钉扎磁性层(22a)的各MRE，并分别形成对应于各MRE的加热器(30)，在与基板平行的第1方向具有磁场方向的外部磁场中，配置所述基板，加热一部分加热器部，将该一部分钉扎磁性层的磁化方向充磁为所述第1方向，在与第1方向不同的第2方向具有磁场方向的外部磁场中，配置所述基板，加热另一部分的加热器部，将该另一部分的钉扎磁性层的磁化方向充磁为所述第2方向。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种磁传感器装置的制造方法，所述磁传感器装置具备：具有一面(13、15、18)的基板(10、14、16)；和形成于所述基板(10、14、16)的一面(13、15、18)的上方的多个磁阻元件部(22)，该磁阻元件部(22)具有磁化方向因外部磁场而变化的自由磁性层(22c)、和固定了磁化方向的钉扎磁性层(22a)，一个磁阻元件部(22)的所述钉扎磁性层(22a)的磁化方向，在与所述基板(10、14、16)的一面(13、15、18)平行的平面上，与其他磁阻元件部(22)的所述钉扎磁性层(22a)的磁化方向不同，在向所述各磁阻元件部(22)施加外部磁场的情况下，根据所述各磁阻元件部(22)的电阻值的变化来检测物理量，其特征在于，准备所述基板(10、14、16)，在所述基板(10、14、16)的一面(13、15、18)的上方形成所述各磁阻元件部(22)，分别形成与所述各磁阻元件部(22)对应的加热器部(30)，在外部磁场方向被设定为所述平面上的第1方向的外部磁场中，配置形成有所述各磁阻元件部(22)的所述基板(10、14、16)，通过加热与所述多个磁阻元件部(22)中的一部分对应的一部分加热器部(30)，进行磁场中退火，从而将该一部分的磁阻元件部(22)的钉扎磁性层(22a)的磁化方向，充磁为所述第1方向，在外部磁场方向被设定为所述平面上与第1方向不同的第2方向的外部磁场中，配置形成有所述各磁阻元件部(22)的所述基板(10、14、16)，通过加热与不同于所述多个磁阻元件部(22)的一部分的另一部分对应的加热器部(30)，进行磁场中退火，从而将该另一部分的磁阻元件部(22)的钉扎磁性层(22a)的磁化方向，充磁为所述第2方向。
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