[发明专利]LED封装中的陶瓷挡墙制造方法有效
申请号: | 201210166656.1 | 申请日: | 2012-05-25 |
公开(公告)号: | CN102769091A | 公开(公告)日: | 2012-11-07 |
发明(设计)人: | 南佶模;金东明;李忠硕;金荣基;河宗秀 | 申请(专利权)人: | 瑞声声学科技(深圳)有限公司;瑞声精密制造科技(常州)有限公司 |
主分类号: | H01L33/48 | 分类号: | H01L33/48 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518057 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供一种LED封装中的陶瓷挡墙制造方法,该方法包括如下步骤:提供基板,在所述基板上贴附干膜光阻;对所述干膜光阻实施部分曝光形成挡墙图案;对干膜光阻进行光化学蚀刻,清除被曝光的部分,形成挡墙形状的凹槽;进行丝网印刷,在所述凹槽内填充陶土浆;对所述干膜光阻和陶土浆进行烘干,在陶土浆硬化后,剥离剩余的干膜光阻;对所述陶土浆进行高温烧结从而形成陶瓷挡墙。本发明提供的LED封装中的陶瓷挡墙制造方法,其尺寸小、节约压注模模具费、制造工艺简单,生产成本低廉、效率更高,并且结构稳定。 | ||
搜索关键词: | led 封装 中的 陶瓷 挡墙 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种LED封装中的陶瓷挡墙制造方法,其特征在于,该方法包括如下步骤:(1)提供基板,在所述基板上贴附干膜光阻;(2)对所述干膜光阻实施部分曝光形成挡墙图案;(3)对干膜光阻进行光化学蚀刻,清除被曝光的部分,形成挡墙形状的凹槽;(4)进行丝网印刷,在所述凹槽内填充陶土浆;(5)对所述干膜光阻和陶土浆进行烘干,在陶土浆硬化后,剥离剩余的干膜光阻;(6)对所述陶土浆进行高温烧结从而形成陶瓷挡墙。
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