[发明专利]一种大型高致密铬靶的制造方法有效
| 申请号： | 201210156200.7 | 申请日： | 2012-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN102677005A | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 王广欣;钟小亮;豆帆 | 申请（专利权）人： | 烟台希尔德新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/14;B22F3/16 |
| 代理公司： | 烟台双联专利事务所(普通合伙) 37225 | 代理人： | 梁翠荣 |
| 地址： | 264006 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高致密铬靶的热压方法，该方法包括依次进行的：抽真空、分阶段升温升压、保压炉冷、热锻、退火、热轧、机加工，七个步骤。通过设计合理的工艺步骤，筛选稳定的工艺参数，达到了低成本制得大型高致密铬靶的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 大型 致密 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种大型高致密铬靶的制造方法，其特征在于：包括如下依次进行的七个步骤：Ⅰ、真空脱气：采用‑200目、纯度为99.95%、氧含量小于1000ppm的铬粉为原料，首先加压5MPa，然后在真空度保持为5.0×10‑3Pa的环境下，以300℃/h的加热速度加热至800℃，保温1小时，然后充入氩气；Ⅱ、阶段性升温加压：加压至10MPa，然后以200℃/h的加热速度加热至1100℃，保温1小时；然后以100℃/h的加热速度加热至1400℃，保温1小时；自1100℃开始，在温度上升的过程中每50℃增加2MPa压力，最终压力为20MPa；Ⅲ、保压炉冷：保持20MPa的压力，停止加热，靶材随炉自然冷却；Ⅳ、热锻：锻造温度为900~1200℃，变形率为0.1%/分~20%/分；Ⅴ、退火：在300℃～700℃温度下保温3～5小时进行去应力退火；Ⅵ、热轧：针对靶材的形状不同，选择单向式或者交叉式或者旋转式的热扎方式，轧制的道次变形率为2%~20%；Ⅶ、机加工。
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