[发明专利]电火花工艺制备类单晶籽晶方法无效
| 申请号： | 201210146846.7 | 申请日： | 2012-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN103386715A | 公开（公告）日： | 2013-11-13 |
| 发明（设计）人： | 李文 | 申请（专利权）人： | 无锡奥特维科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214028 江苏省无锡市新区泰山路2号*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种电火花工艺制备类单晶籽晶方法，基于用电火花线切割机床改造后对硅棒进行切割，其特征在于电极丝通过横向往复运动将硅棒切割成长条形籽晶硅板，通过纵向运动实现籽晶硅板倒角，得到长方形板状籽晶；所述籽晶厚度可以是10-60mm，宽度根据切割位置变化；硅棒竖直放置，电极丝和硅棒中心线平行。 | ||
| 搜索关键词： | 电火花 工艺 制备 类单晶 籽晶 方法 | ||
【主权项】：
一种电火花工艺制备类单晶籽晶方法，基于用电火花线切割机床改造后对硅棒进行切割，其特征在于电极丝通过横向往复运动将硅棒切割成长条形籽晶硅板，通过纵向运动实现籽晶硅板倒角，得到长方形板状籽晶。
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