[发明专利]蒸镀装置以及蒸镀机台无效
| 申请号： | 201210143468.7 | 申请日： | 2012-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN103014630A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 王庆钧;黄智勇;陈建志;陈思豪;董福庆;小田敦 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种蒸镀装置及应用此蒸镀装置的蒸镀机台，适于对一待镀物进行蒸镀。所述蒸镀装置包括一载带载具以及一遮罩。载带载具具有一加热区。待镀物位于加热区上方并且适于依一进给方向移动。载带载具适于承载一镀膜材料通过加热区，并且在加热区内加热镀膜材料，使镀膜材料蒸发。遮罩设置于加热区外围，且遮罩具有一开口位于加热区与待镀物之间。被蒸发的镀膜材料适于通过开口而被镀制于待镀物上。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 以及 机台 | ||
【主权项】：
一种蒸镀装置，适于对一待镀物进行蒸镀，该蒸镀装置包括：载带载具，具有加热区，该待镀物位于该加热区上方并且适于依一进给方向移动，该载带载具包括：加热轴杆，具有一表面，该加热轴杆适于依一轴向转动，该待镀物位于该加热轴杆的一侧；以及载带，承靠该加热轴杆的该侧，该载带适于依该加热轴杆绕行，且该载带具有相对远离该加热轴杆的一承载面，用于承载一镀膜材料通过该加热区，以在该加热区内通过该加热轴杆来加热该镀膜材料，使该镀膜材料蒸发；以及遮罩，设置于该加热区外围，且该遮罩具有开口，位于该加热区与该待镀物之间，被蒸发的该镀膜材料适于通过该开口而被镀制于该待镀物上。
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