[发明专利]带内胆的多晶硅还原炉的尾气回收液冷却装置及方法有效
| 申请号： | 201210141882.4 | 申请日： | 2012-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN102674359A | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 刘春江;段长春;黄哲庆;周阳;段连;袁希钢 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035;F27D17/00 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 王丽 |
| 地址： | 300072 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种带内胆的多晶硅还原炉的尾气回收液冷却装置及方法。在带内胆的多晶硅还原炉下面连接有底盘排气总管，底盘排气总管连接冷凝器，冷凝器连接储罐，储罐上设置有储罐排气管；储罐经过泵连接至尾气回收液进口管线；在尾气回收液进口管线上设置有文丘里引射装置和三氯氢硅液体引射管线。与传统多晶硅还原炉相比，内胆双层结构及对应的底盘结构可以大大降低硅棒向钟罩内壁的能量辐射，钟罩内壁由于温度较低不会沉积硅粉，保持了钟罩内壁的抛光效果，还可以减少多晶硅还原炉钟罩冷却水的通入量。节能型多晶硅还原炉的尾气回收液冷却内胆工艺减少了还原炉内三氯氢硅冷却液用量，减少了尾气处理量，最终降低了能耗。 | ||
| 搜索关键词： | 内胆 多晶 还原 尾气 回收 冷却 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种带内胆的多晶硅还原炉的尾气回收液冷却装置，其特征在带内胆的多晶硅还原炉下面连接有底盘排气总管（19），底盘排气总管（19）连接冷凝器（26），冷凝器连接储罐（27），储罐（27）上设置有储罐排气管（28）；储罐（27）经过泵（29）连接至尾气回收液进口管线（24）；在尾气回收液进口管线（24）上设置有文丘里引射装置（30）和三氯氢硅液体引射管线（31）。
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