[发明专利]任意槽形光栅结构的全息曝光装置及其曝光方法

摘要

本发明揭示了一种任意槽形光栅结构的全息曝光装置及其曝光方法，所述装置包括激光器、主分束镜；激光器发射的光束经过主分束镜分为若干束光路，每束光路均经过一子曝光单元。子曝光单元包括可调光衰减器、分束镜、第一反射镜、第二反射镜、第一准直扩束镜、第二准直扩束镜、旋转平台、压电陶瓷及驱动器、显微物镜组、CCD接收器及驱动电路、数据采集卡和计算机。本发明采用傅里叶分解的思想，实现任意槽形光栅的全息法制作。装置中设有CCD，能够实时地反映干涉条纹的振动漂移情况，并以此驱动压电陶瓷，实现干涉条纹的锁定，避免条纹抖动对长时间曝光的影响，同时根据扩束后的干涉条纹信息精确控制各组干涉条纹的位相，实现多组干涉条纹的匹配叠加。

主权项

一种任意槽形光栅结构的全息曝光装置，其特征在于，所述装置包括激光器、主分束镜；激光器发射的光束经过主分束镜分为若干束光路，每束光路均经过一子曝光单元；所述子曝光单元包括可调光衰减器、分束镜、第一反射镜、第二反射镜、第一准直扩束镜、第二准直扩束镜、旋转平台、压电陶瓷及驱动器、显微物镜组、CCD接收器及驱动电路、数据采集卡和计算机；光束首先经过可调衰减器再经过分束器后分成等强度两束光路d、e，光路d、e光束分别经过固定在旋转平台上的第一反射镜和固定在压电陶瓷上的第二反射镜后形成一定的夹角，然后分别通过第一准直扩束镜、第二准直扩束镜形成宽口径的平行光束，并在光栅基坯表面产生干涉条纹；在光栅基坯表面后面放置显微物镜组，使得光栅基坯表面与显微物镜组的物方焦平面重合，然后将CCD接收器放置显微物镜组的像方焦平面上；CCD接收器将采集到的信号传送给计算机，有计算机分析条纹的周期、位相和强度信息。