[发明专利]硅烷纯化与灌装用冷阱系统无效
| 申请号： | 201210111632.6 | 申请日： | 2012-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN102628546A | 公开（公告）日： | 2012-08-08 |
| 发明（设计）人： | 林培川;陈军 | 申请（专利权）人： | 南京特种气体厂有限公司 |
| 主分类号： | F17C5/02 | 分类号： | F17C5/02;B01D8/00;C01B33/04 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 程化铭 |
| 地址： | 211113 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅烷纯化与灌装用冷阱系统，包括若干冷阱罐以及和冷阱罐等数量的液氮杜瓦，其特征是：所述冷阱罐为密闭罐体，罐体的顶部有进气管，罐体的侧上方设有出口管；冷阱罐的出口管与另一冷阱罐的进气管连接，照此将各冷阱罐串联；冷阱罐可套装在液氮杜瓦内。使用时，将第一个冷阱罐的进气管并联两个阀门，一个是硅烷阀门，与硅烷气源连接，一个是真空与排空阀，与真空与排空系统连接。最后一个冷阱罐的出口管与汇流排连接，汇流排的各个出口接等待灌装硅烷的硅烷气瓶。本发明采用串接冷阱罐，低温灌装硅烷，且具备气体纯化功能。能有效纯化硅烷气体，抑制二氧化硅粉尘的产生，保证灌装系统安全正常工作。 | ||
| 搜索关键词： | 硅烷 纯化 灌装 用冷阱 系统 | ||
【主权项】：
一种硅烷纯化与灌装用冷阱系统，包括若干冷阱罐以及和冷阱罐等数量的液氮杜瓦，其特征是：所述冷阱罐为密闭罐体，罐体的顶部有进气管，罐体的侧上方设有出口管；冷阱罐的出口管与另一冷阱罐的进气管连接，照此将各冷阱罐串联；冷阱罐可套装在液氮杜瓦内。
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