[发明专利]一种微悬臂梁传感器的共振激发方法有效
| 申请号： | 201210104927.0 | 申请日： | 2012-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN102620751A | 公开（公告）日： | 2012-08-01 |
| 发明（设计）人： | 刘铎;冯兆斌 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | G01D5/12 | 分类号： | G01D5/12 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 王绪银 |
| 地址： | 250100 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种微悬臂梁传感器的共振激发方法，属于微机电系统技术领域。微悬臂梁传感器是一种电容式微悬臂梁传感器，包括一个n型掺杂硅材料的微悬臂梁底座和一个与微悬臂梁底座平行放置的金属电极；微悬臂梁底座的一端设有与微悬臂梁底座一体的、同材料的无针尖探针，微悬臂梁底座和金属电极上分别设有脉冲电信号接入引线和直流偏压接入引线。通过在微悬臂梁底座上加微悬臂梁探针共振频率分数倍的脉冲电信号以及在金属电极上加直流偏压，实现用低频脉冲电信号激发微悬臂梁探针的高频共振。本发明有效解决了微悬臂梁探针高频共振难以激发的问题，对基于微悬臂梁的传感器的发展具有重要的实用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 悬臂梁 传感器 共振 激发 方法 | ||
【主权项】：
一种微悬臂梁传感器，其特征在于，该微悬臂梁传感器是一种电容式微悬臂梁传感器，包括一个n型掺杂硅材料的微悬臂梁底座和一个与微悬臂梁底座平行放置的金属电极；微悬臂梁底座的一端设有与微悬臂梁底座一体的、同材料的无针尖探针，微悬臂梁底座和金属电极上分别设有脉冲电信号接入引线和直流偏压接入引线。
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