[发明专利]高可靠SOI LDMOS功率器件有效
申请号: | 201210103676.4 | 申请日: | 2012-04-10 |
公开(公告)号: | CN102623506A | 公开(公告)日: | 2012-08-01 |
发明(设计)人: | 姜一波;杜寰 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L29/06 |
代理公司: | 北京市德权律师事务所 11302 | 代理人: | 刘丽君 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 公开了一种高可靠SOI LDMOS功率器件,包括:在SOI LDMOS功率器件的顶层硅中,注入有高浓度的埋层和接触注入区,且埋层与接触注入区连接;通过所述埋层可充分抽取SOI LDMOS功率器件中SOI LDMOS栅附近的载流子,并经所述接触注入区引出,控制SOI LDMOS栅附近的电位。本发明提供的高可靠SOI LDMOS功率器件,在SOI LDMOS的顶层硅中,制成高浓度的埋层并通过接触注入区引出,利用此埋层充分抽取SOI LDMOS器件SOI LDMOS栅附近的载流子,控制SOI LDMOS栅附近电位,避免由噪声电流或者碰撞电流引起的寄生晶体管开启而导致的LDMOS器件损伤或烧毁,同时抬升了LDMOS器件在静电冲击下的维持电压,扩展了LDMOS功率器件的电学安全工作区域,增强了器件可靠性。 | ||
搜索关键词: | 可靠 soi ldmos 功率 器件 | ||
【主权项】:
一种高可靠SOI LDMOS功率器件,其特征在于,包括:在SOI LDMOS功率器件的顶层硅中,注入有高浓度的埋层和接触注入区,且埋层与接触注入区连接;通过所述埋层可充分抽取SOI LDMOS功率器件中SOI LDMOS栅附近的载流子,并经所述接触注入区引出,控制SOI LDMOS栅附近的电位。
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