[发明专利]蒸汽收集有效
| 申请号： | 201210102890.8 | 申请日： | 2012-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN102732840A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 郭倩;M·斯穆拉;M·J·施蒂纳曼;H·R·萨马妮 | 申请（专利权）人： | 希捷科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 马洪 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于在润滑剂的物理蒸汽沉积过程中收集冷凝蒸汽的设备，其包括构造成与真空室内的一个或多个蒸汽源相邻放置的封壳。该封壳包括局部包封构造成容纳物体的空间体积的封壳内表面，其中封壳被保持在比该一个或多个蒸汽源低的温度下。封壳的内表面连接到一个或多个排水沟。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸汽 收集 | ||
【主权项】：
一种用于在润滑剂的物理蒸汽沉积过程中收集冷凝蒸汽的设备，所述设备包括：封壳，所述封壳构造成与真空室内的一个或多个蒸汽源相邻放置，所述封壳构造成保持在比所述一个或多个蒸汽源低的温度下，所述封壳包括：局部包封空间体积的内表面，所述空间构造成容纳物体；以及连接到所述封壳的所述内表面的一个或多个排水沟。
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