[发明专利]一种制备标准氧化钽薄膜的方法无效
| 申请号： | 201210096962.2 | 申请日： | 2012-04-05 |
| 公开（公告）号： | CN102634837A | 公开（公告）日： | 2012-08-15 |
| 发明（设计）人： | 徐建;陆敏;朱丽娜;吴立敏;陈永康 | 申请（专利权）人： | 上海市计量测试技术研究院 |
| 主分类号： | C25D11/26 | 分类号： | C25D11/26 |
| 代理公司： | 上海世贸专利代理有限责任公司 31128 | 代理人： | 李浩东 |
| 地址： | 201203 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及计量测试量值传递技术领域，尤其是涉及一种在金属钽片上制备纳米厚度标准氧化钽薄膜的方法。一种制备标准氧化钽薄膜的方法，它包括如下步骤：a、对金属钽片进行表面处理，b、将金属钽片作为阳极、贵金属丝作为阴极，在阳极、阴极上施加1～60V的电压置入电解液中进行阳极氧化反应0.1～12小时，c、取出并清洗金属钽片，d、放入烘箱干燥。本发明提供了一套覆盖纳米尺寸范围、具有标准厚度的氧化钽纳米薄膜，改善了当前国内纳米薄膜计量和表征缺少标准物质的现状，有效地保证纳米计量表征的量值传递，获得更为精确的薄膜厚度测量结果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 标准 氧化 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
一种制备标准氧化钽薄膜的方法，其特征是它包括如下步骤：a、对金属钽片进行表面处理，b、将金属钽片作为阳极、贵金属丝作为阴极，在阳极、阴极上施加1～60V的电压置入电解液中进行阳极氧化反应0.1～12小时，c、取出并清洗金属钽片，d、放入烘箱干燥。
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