[发明专利]太阳能电池基片的硒化与硫化反应装置有效
| 申请号： | 201210094234.8 | 申请日： | 2012-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN103361628A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 钱青;龚立光 | 申请（专利权）人： | 英莱新能（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/30 | 分类号： | C23C16/30;C23C16/44;C23C16/455;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京金信立方知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 刘锋;王传林 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种太阳能电池基片的硒化与硫化反应装置，该装置包括：外腔体，其设有用于基片进出的外腔体入口和外腔体出口，所述外腔体入口和外腔体出口上分别设有喷气隔离装置；位于所述外腔体内的反应腔体，其设有用于基片进出的反应腔体入口和反应腔体出口，所述反应腔体入口和反应腔体出口上分别设有喷气隔离装置，所述反应腔体上设有硒蒸汽管、硫蒸汽管和排清气体输送管；置于所述反应腔体外的多个加热器；包覆在所述反应腔体外的热反射层，所述加热器位于所述反应腔体和热反射层之间；以及输送基片进出所述反应腔体的输送机。采用本发明，可实现基片的硒化与硫化反应，确保硒化与硫化反应的工艺要求。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳能电池 硫化 反应 装置 | ||
【主权项】：
一种太阳能电池基片的硒化与硫化反应装置，其特征在于，包括：外腔体(10)，其设有用于基片(100)进出的外腔体入口和外腔体出口，所述外腔体入口和外腔体出口上分别设有喷气隔离装置(11、12)；位于所述外腔体(10)内的反应腔体(20)，其设有用于基片(100)进出的反应腔体入口和反应腔体出口，所述反应腔体入口和反应腔体出口上分别设有喷气隔离装置(21、22)，所述反应腔体(20)上设有硒蒸汽管(40)、硫蒸汽管(50)和排清气体输送管(60)；置于所述反应腔体(20)外的多个加热器(23)；包覆在所述反应腔体(20)外的热反射层(30)，所述加热器(23)位于所述反应腔体(20)和热反射层(30)之间；以及输送基片(100)进出所述反应腔体(20)的输送机(101)。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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