[发明专利]一种等离子反应器

摘要

本发明提供一种等离子反应器，包括位于反应器底部的一个基座，处理基片放置在所述基座上，基座内包括至少一热交换管道，所述热交换管道包括一个冷却液入口和一个冷却液出口，一个冷却器包括一个第一温度冷却液容器和第二温度冷却液容器，通过阀门控制第一、第二冷却液容器输出并到达冷却液混合室的冷却液流量比率，冷却液混合室输出混合后的冷却液到所述热交换管道的冷却液入口；一个冷却液回收容器包括第一接口连接到热交换管道的冷却液出口，所述冷却液回收容器还包括一个第二和三接口分别连接到第一温度冷却液容器和第二温度冷却液容器。

主权项

一种等离子反应器，包括位于反应器底部的一个基座，处理基片放置在所述基座上，一个反应气体供应装置向反应器供应反应气体，一个等离子发生装置使反应气体产生等离子体，所述基座内包括至少一热交换管道，所述热交换管道包括一个冷却液入口和一个冷却液出口，一个冷却器向所述热交换管道供应具有设定温度的冷却液，其特征在于：所述冷却器包括一个第一温度冷却液容器和第二温度冷却液容器，一个控制器使第一温度冷却液容器中的冷却液具有第一温度，使第二温度冷却液容器中的冷却液具有第二温度；第一温度冷却液容器输出口通过第一可控阀门输出具有第一温度的冷却液到冷却液混合室，第二温度冷却液容器输出口通过第二可控阀门输出具有第二温度的冷却液到冷却液混合室，所述冷却液混合室输出混合后的冷却液到所述热交换管道的冷却液入口；一个冷却液回收容器包括第一接口连接到所述热交换管道的冷却液出口，所述冷却液回收容器还包括一个第二和三接口分别连接到第一温度冷却液容器和第二温度冷却液容器。