[发明专利]一种动镜微调整方法

摘要

本发明是一种动镜微调整方法，它包括三个压电陶瓷驱动点，三个电容传感器探测点，动镜的解耦算法；该方法根据压电陶瓷驱动点的位置，电容传感器探测点的位置，经过推导得出动镜的解耦算法，从而给出驱动点应该执行的位移，以达到控制动镜的目的，满足动镜的调整需求。

主权项

一种动镜微调整方法，其特征在于：根据压电陶瓷的驱动点的位置和电容传感器的探测点的位置，得到动镜的解耦算法，解耦算法给出驱动点应该执行微调整的位移，实现控制动镜微移动的具体步骤如下：步骤S1：以动镜模型半径为r2的外圆周上均匀排列第一压电陶瓷驱动点、第二压电陶瓷驱动点、第三压电陶瓷驱动点；步骤S2：以动镜圆心为原点、以动镜表面为X‑Y平面，建立动镜坐标系，并将第一电容传感器的驱动点设于X轴上；步骤S3：利用动镜坐标系，获取第一压电陶瓷驱动点、第二压电陶瓷驱动点、第三压电陶瓷驱动点的坐标；步骤S4：以动镜框中心为圆心、动镜框平面为X‑Y面，建立世界坐标系；步骤S5：将第一压电陶瓷驱动点、第二压电陶瓷驱动点、第三压电陶瓷驱动点在世界坐标系下的X、Y坐标由其第一压电陶瓷驱动点、第二压电陶瓷驱动点、第三压电陶瓷驱动点在动镜坐标系下的X、Y坐标代替，获得第一压电陶瓷驱动点、第二压电陶瓷驱动点、第三压电陶瓷驱动点在世界坐标系下的坐标；步骤S6：以动镜模型内环半径为r1的内圆周上均匀排列第一电容传感器探测点、第二电容传感器探测点、第三电容传感器探测点；设第一电容传感器探测点到圆心的连线与X轴的夹角为θ，获取第一电容传感器探测点、第二电容传感器探测点、第三电容传感器探测点在世界坐标系下的坐标；步骤S7：利用第一压电陶瓷驱动点、第二压电陶瓷驱动点、第三压电陶瓷驱动点确定动镜框平面的第一法线nZA；步骤S8：利用第一电容传感器探测点、第二电容传感器探测点、第三电容传感器探测点确定动镜框平面的第二法线nZB；且设第一压电陶瓷驱动点、第二压电陶瓷驱动点、第三压电陶瓷驱动点确定的平面与第一电容传感器探测点、第二电容传感器探测点、第三电容传感器探测点 确定的平面共面，及第一法线nZA与第二法线nZB平行；步骤S9：利用驱动点的第一压电陶瓷、第二压电陶瓷、第三压电陶瓷，探测点的第一电容传感器、第二电容传感器、第三电容传感器之间与θ角的几何关系，获得第一压电陶瓷、第二压电陶瓷、第三压电陶瓷，探测点的第一电容传感器、第二电容传感器、第三电容传感器之间的解析关系以及矩阵关系的表达式为：ZB＝B‑1AZA，A是关于压电陶瓷驱动点位置关系的系数矩阵；B是关于电容传感器探测点位置关系的系数矩阵；ZA是关于压电陶瓷驱动点的位置矩阵；ZB是关于电容传感器探测点的位置矩阵；通过求数值矩阵拟矩阵获得传动方程，对矩阵A，B的表达式进行验证，解析结果与数值结果一致，验证矩阵A，B的表达式无误，实现动镜微调整。