[发明专利]一种偏振和双折射测量系统有效
申请号: | 201210088188.0 | 申请日: | 2012-03-29 |
公开(公告)号: | CN102621072A | 公开(公告)日: | 2012-08-01 |
发明(设计)人: | 范真节;林妩媚;邢廷文;刘学峰 | 申请(专利权)人: | 中国科学院光电技术研究所 |
主分类号: | G01N21/23 | 分类号: | G01N21/23 |
代理公司: | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人: | 杨学明;顾炜 |
地址: | 610209 *** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明提供一种偏振和双折射测量系统,通过采用多波片组合以提高偏振和应力双折射的测量精度,其中,光源模块:包括光源和准直扩束系统,起偏器,待测样品。光信号调制模块:包括多级相差共轴波片、检偏器、步进电机驱动卡,步进电机。数据采集处理模块:包括图像采集卡、光强探测器以及计算机。本发明很好的避免了环境和测量条件变化如空气流动,温度变化以及某些不确定的振动方式带来的影响。该系统使用超过一个独立的位相调制元件来抑制噪声,平均主要误差源。本发明该系统采用三个波片来对偏振和双折射进行测量,很好地避免了由于系统的非线性影响引起的非线性误差,大大提高了测量精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 偏振 双折射 测量 系统 | ||
【主权项】:
一种偏振和双折射测量系统,其特征在于:该测量系统包括三个模块:光源模块(10)、光信号调制模块(11)和数据采集处理模块(12);其中:光源模块(10)包括光源(1)、准直扩束系统(2),起偏器(3)和待测样品(4);光信号调制模块(11)包括多级相差共轴波片(5)和检偏器(6);数据采集处理模块(12)包括光强探测器(7)、计算机(8)和步进电机(9);光源(1)发出的光经过准直扩束系统(2)后会聚光束变为远心光束,并入射到起偏器(3),光束经起偏器(3)后变为偏振光,偏振光入射到待测样品(4)上,光束透过待测样品(4)后进入光信号调制模块(11),光束经多级相差共轴波片(5)和检偏器(6)入射到光强探测器(7)上,检偏器(6)与起偏器(3)指标性能匹配;多级相差共轴波片(5)是由尺寸不等的多个波片构成的圆盘,多级相差共轴波片(5)由步进电机(9)驱动,通过驱动其旋转实现对光强的调制;光强探测器(7)获取的光强信息经数据采集卡将数据存入计算机(8),并通过计算机(8)的运算模块进行偏振和双折射数据参数的运算并储存,同时计算机(8)通过D/A板给步进电机(9)发送驱动信号以控制步进电机(9)的驱动的起止时间和旋转角度,步进电机(9)带动多级相差共轴波片(5)旋转,旋转角度值可通过计算机(8)进行控制,光强探测器(7)获取不同方位角时的强度信息,利用计算机(8)对获取的强度信息进行处理和数学解析,得到光学材料的偏振和双折射模式和分布。
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