[发明专利]折断装置及折断方法

摘要

本发明提供一种沿着划线以非接触方式折断脆性材料基板的折断装置。是由用来以形成有划线S的面朝上的姿势加以装载的装载台2、将脆性材料基板W在装载台2上保持于定位置的保持手段11、及配置在装载台2上方的吸引垫21构成，吸引垫21具备于下面侧产生朝上的吸引作用的减压空间部P、及挟着此减压空间部P至少从左右两侧的部位喷出朝下的空气的喷出孔23，借由吸引垫21的减压空间部P产生的朝上的吸引作用于划线S上进行吸引，并以从喷出孔23喷出的空气将划线S的左右两侧部分按压向下方，据以折断脆性材料基板W。

主权项

一种脆性材料基板的折断装置，其特征在于其由用来将形成有划线的脆性材料基板以形成有当该划线的面朝上的姿势加以装载的装载台、将该脆性材料基板在该装载台上保持于定位置的保持手段、及配置在该装载台上方的吸引垫构成；该吸引垫具备于其下面侧产生朝上的吸引作用的减压空间部、及挟着此减压空间部至少从左右两侧的部位喷出朝下的空气的喷出孔，借由该吸引垫的减压空间部产生的朝上的吸引作用于划在线进行吸引，并以从该喷出孔喷出的空气将该划线的左右两侧部分向下方按压，据以折断该脆性材料基板。