[发明专利]一种基于二极管辅助触发的双向可控硅器件无效

专利信息
申请号: 201210060503.9 申请日: 2012-03-09
公开(公告)号: CN102569360A 公开(公告)日: 2012-07-11
发明(设计)人: 郑剑锋;韩雁;马飞;董树荣;吴健;苗萌;曾杰 申请(专利权)人: 浙江大学
主分类号: H01L29/06 分类号: H01L29/06;H01L29/74
代理公司: 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 代理人: 胡红娟
地址: 310027 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种基于二极管辅助触发的双向可控硅器件,包括P衬底层和两条二极管链路;P衬底层上设有第一N阱、P阱和第二N阱;第一N阱上设有第一N+有源注入区、第一P+有源注入区和第二N+有源注入区;第二N阱上设有第三N+有源注入区、第二P+有源注入区和第四N+有源注入区;第三N+有源注入区与第一二极管链路的阳极相连,第二N+有源注入区与第二二极管链路的阳极相连。本发明可控硅器件利用二极管作为辅助触发单元,使得器件具有可调且较低的正反向击穿电压,使得器件可适用于深亚微米工艺下的片上ESD防护,尤其可适用于一些混合电压接口电路或者不同电源域间的ESD防护应用。
搜索关键词: 一种 基于 二极管 辅助 触发 双向 可控硅 器件
【主权项】:
一种基于二极管辅助触发的双向可控硅器件,其特征在于,包括:P衬底层(10)和两条二极管链路;所述的P衬底层(10)上从左到右依次设有第一N阱(21)、P阱(23)和第二N阱(22),所述的P阱(23)与第一N阱(21)和第二N阱(22)并排相连;所述的第一N阱(21)上从左到右依次并排设有第一N+有源注入区(41)、第一P+有源注入区(51)和第二N+有源注入区(42);所述的第二N阱(22)上从左到右依次并排设有第三N+有源注入区(43)、第二P+有源注入区(52)和第四N+有源注入区(44);所述的第一N+有源注入区(41)和第一P+有源注入区(51)通过第一金属电极(61)相连,所述的第二P+有源注入区(52)和第四N+有源注入区(44)通过第二金属电极(62)相连;所述的第三N+有源注入区(43)与第一二极管链路的阳极相连,第一二极管链路的阴极与第一金属电极(61)相连;所述的第二N+有源注入区(42)与第二二极管链路的阳极相连,第二二极管链路的阴极与第二金属电极(62)相连。
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