[发明专利]一种光刻机高模态轻质量承片台有效
| 申请号： | 201210055795.7 | 申请日： | 2012-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN103293866A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 吴飞;郭琳;王保亮;马宁;袁志扬;刘育;韩良华 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种光刻机高模态轻质量承片台，包括：承片台顶部结构模块和承片台底部封板，所述承片台顶部结构模块和承片台底部封板粘结为一体，形成上下两层的夹心板结构；所述承片台顶部结构模块具有平面矢量电机安装腔、垂向驱动机构安装腔、差分传感器安装腔和减重孔；所述承片台底部封板具有开孔以适应承片台同微动台的装配。本发明提出的光刻机高模态轻质量承片台，能够有效实现结构减重和材料减重，在减轻承片质量的同时又必须保证工件台的模态值指标及动态性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 机高模态轻 质量 承片台 | ||
【主权项】：
一种光刻机高模态轻质量承片台，其特征在于，包括：承片台顶部结构模块和承片台底部封板，所述承片台顶部结构模块和承片台底部封板粘结为一体，形成上下两层的夹心板结构；所述承片台顶部结构模块具有平面矢量电机安装腔、垂向驱动机构安装腔、差分传感器安装腔和减重孔；所述承片台底部封板具有开孔以适应承片台同微动台的装配。
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