[发明专利]基岛披覆锡共晶工艺及其装片方法无效
申请号: | 201210050687.0 | 申请日: | 2012-03-01 |
公开(公告)号: | CN102623364A | 公开(公告)日: | 2012-08-01 |
发明(设计)人: | 谢洁人;王新潮;俞斌;吴昊 | 申请(专利权)人: | 长电科技(滁州)有限公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60 |
代理公司: | 江阴市同盛专利事务所 32210 | 代理人: | 唐纫兰 |
地址: | 239000 安徽省滁州市经济*** | 国省代码: | 安徽;34 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及一种基岛披覆锡共晶工艺及其装片方法,所述方法包括以下工艺步骤:步骤一、利用现有工艺制成引线框的金属部分;步骤二、将步骤一制作完成的引线框进行球焊区域电镀,以满足球焊要求;步骤三、在步骤二完成球焊区域电镀的引线框的装片位置进行披覆锡或锡合金的工作;步骤四、将步骤三完成披覆工作的引线框进行共晶装片,使框架装片位置与背金芯片或背银芯片结合连接在一起;本发明一种基岛披覆锡共晶工艺及其装片方法,它对芯片尺寸无要求,而且基岛披覆上一层锡或锡合金以后,由于锡或锡合金的厚度可以控制,锡或锡合金层厚度可以有效吸收芯片与基岛间不同的应力,解决了传统共晶芯片的分层和破裂问题。 | ||
搜索关键词: | 基岛披覆锡共晶 工艺 及其 方法 | ||
【主权项】:
一种基岛披覆锡共晶工艺及其装片方法,其特征在于所述方法包括以下工艺步骤:步骤一、利用现有工艺制成引线框的金属部分;步骤二、将步骤一制作完成的引线框进行球焊区域电镀,以满足球焊要求;步骤三、在步骤二完成球焊区域电镀的引线框的装片位置进行披覆锡或锡合金的工作;步骤四、将步骤三完成披覆工作的引线框进行共晶装片,使框架装片位置与背金芯片或背银芯片结合连接在一起;所述方法的工艺实施顺序为:步骤一→步骤二→步骤三→步骤四或步骤一→步骤三→步骤二→步骤四。
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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