[发明专利]表面波等离子体产生用天线及表面波等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201210050402.3 | 申请日： | 2012-02-29 |
| 公开（公告）号： | CN102655708A | 公开（公告）日： | 2012-09-05 |
| 发明（设计）人： | 池田太郎;河西繁;长田勇辉 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李伟;舒艳君 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及表面波等离子体产生用天线及表面波等离子体处理装置。该表面波等离子体产生用天线用于将从微波输出部通过由外侧导体与内侧导体构成的同轴状的波导传输来的微波放射到腔室内，在腔室内产生表面波等离子体，该表面波等离子体产生用天线呈平面状，并且多个缝隙形成为圆周状，并且，在圆周方向上邻接的缝隙与缝隙的相接部分处，这些缝隙在径向上重叠，其相接部分呈被缝隙包围的状态。 | ||
| 搜索关键词： | 表面波 等离子体 产生 天线 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种表面波等离子体产生用天线，其将从微波输出部通过由外侧导体与内侧导体构成的同轴状的波导传输来的微波放射到腔室内，在腔室内产生表面波等离子体，其特征在于，该表面波等离子体产生用天线呈平面状，并且多个缝隙被形成为圆周状，并且在圆周方向上邻接的缝隙与缝隙的相接部分被缝隙包围。
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