[发明专利]改进的共面过程流体压力传感器模块有效
申请号: | 201210050120.3 | 申请日: | 2012-02-29 |
公开(公告)号: | CN103091031A | 公开(公告)日: | 2013-05-08 |
发明(设计)人: | 罗伯特·C·海德克;戴维·A·布罗登 | 申请(专利权)人: | 罗斯蒙德公司 |
主分类号: | G01L13/00 | 分类号: | G01L13/00;G01L19/14 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 王波波 |
地址: | 美国明*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明公开一种共面过程流体压力传感器模块。该模块包括共面基底和壳体。共面基底具有一对过程流体压力入口,每个过程流体压力入口具有隔离膜片。壳体在共面基底和壳体之间的分界面处连接到共面基底。压差传感器可操作地连接到该对过程流体压力入口,并且邻近共面基底设置在壳体内。 | ||
搜索关键词: | 改进 过程 流体 压力传感器 模块 | ||
【主权项】:
一种共面过程流体压力传感器模块,所述模块包括:共面基底,具有一对过程流体压力入口,每个过程流体压力入口具有隔离膜片;壳体,在共面基底和壳体之间的分界面处连接到共面基底;压差传感器,可操作地连接到该对过程流体压力入口,并且邻近共面基底设置在壳体内。
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