[发明专利]多路电容式MEMS加速度传感器零点偏移测试补偿系统无效
| 申请号： | 201210043148.4 | 申请日： | 2012-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN102590556A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 张海峰;刘晓为;邵宪辉;陈伟平;尹亮;陈龙 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01P21/00 | 分类号： | G01P21/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150001 黑龙江省哈尔滨市南*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种多路电容式MEMS加速度传感器零点偏移测试补偿系统，包括步进电机机械系统、多路电容式MEMS加速度传感器、多路数据采集电路、单片机控制电路、上位机和电源管理系统，步进电机机械系统连接多路电容式MEMS加速度传感器，多路电容式MEMS加速度传感器连接多路数据采集电路，多路数据采集电路连接单片机控制电路，所述的步进电机机械系统包括铝合金制MEMS电容式加速度传感器载体、步进电机和步进电机底座，步进电机安装在步进电机底座上。本发明可同时自动求解多路加速度传感器电容偏差，具有操作简单，自动化程度高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 mems 加速度 传感器 零点 偏移 测试 补偿 系统 | ||
【主权项】：
一种多路电容式MEMS加速度传感器零点偏移测试补偿系统，包括步进电机机械系统、多路电容式MEMS加速度传感器、多路数据采集电路、单片机控制电路、上位机和电源管理系统，其特征在于：步进电机机械系统连接多路电容式MEMS加速度传感器，多路电容式MEMS加速度传感器连接多路数据采集电路，多路数据采集电路连接单片机控制电路，所述的步进电机机械系统包括铝合金制MEMS电容式加速度传感器载体、步进电机和步进电机底座，步进电机安装在步进电机底座上，多路数据采集电路安装在铝合金制MEMS电容式加速度传感器载体内部，在铝合金制MEMS电容式加速度传感器载体的表面预留多路数据采集接口，多个MEMS电容式加速度传感器与数据采集接口相连接，在铝合金制MEMS电容式加速度传感器载体的侧边中心轴处设置步进电机安装孔，步进电机轴与步进电机安装孔连接；电源管理电路分别电气连接步进电机、多路电容式MEMS加速度传感器、多路数据采集电路和单片机控制电路；上位机通过RS232串口或者USB口与单片机控制电路电气连接。
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