[发明专利]一种污染测试装置及方法有效
| 申请号： | 201210041162.0 | 申请日： | 2012-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN103293271A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 俞芸;罗晋;张洪博;金敏 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00;G01N15/10 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种污染测试装置及方法。污染测试装置包括进风管、静压腔、过滤器、工作腔体、固定孔板、回风孔板、回风腔和回风管，其中进风管一端连接外部气源，另一端连接静压腔，过滤器设置在静压腔和工作腔体之间，工作腔体的背面设置有开孔，固定孔板设置在工作腔体的底部，回风孔板设置在工作腔体和回风腔之间，回风管一端连接回风腔，另一端连接进风管。本发明的污染测试装置及方法可以实现多种污染测试，可同时测试材料和运动部件释放颗粒、分子污染物的特性，功能多样，结构简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 污染 测试 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种污染测试装置，其特征在于包括进风管(1)、静压腔(2)、过滤器(3)、工作腔体(4)、固定孔板(5)、回风孔板(6)、回风腔(7)和回风管(8)，其中进风管(1)一端连接外部气源，另一端连接静压腔(2)，过滤器(3)设置在静压腔(2)和工作腔体(4)之间，工作腔体(4)的背面设置有开孔，固定孔板(5)设置在工作腔体(4)的底部，回风孔板(6)设置在工作腔体(4)和回风腔(7)之间，回风管(8)一端连接回风腔(7)，另一端连接进风管(1)。
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