[发明专利]法布里-珀罗腔及外腔半导体激光器

摘要

本发明公开一种法布里-珀罗腔及外腔半导体激光器。其中法布里-珀罗腔包括腔体、耦合棱镜。入射光束通过耦合棱镜，以倏逝波形式射入腔体内，经第一反射面全反射后，正入射在第二反射面上，被第二反射面反射后返回到第一反射面，经第一反射面全反射后返回到耦合面，在耦合面处发生全反射，同时生成倏逝波形式的透射光束，经耦合面全反射的光束正入射在第二反射面上，光束被第二反射面反射后返回到耦合面，经耦合面全反射后再入射到第一反射面上进行全反射；透射光束沿着与入射光束共线反向的方向射出。通过本发明在解决现有法布里-珀罗腔稳定性不好，易受到外界干扰，体积过大和系统复杂等问题的同时，避免出现激光跳模，获得窄线宽激光输出。

主权项

一种法布里‑珀罗腔，其特征在于，法布里‑珀罗腔包括腔体、耦合棱镜，其中腔体是由单块光学元件整体构成的折叠共焦腔，腔体具有耦合面、第一反射面和第二反射面，耦合棱镜设在耦合面上，第二反射面为球面；入射光束通过耦合棱镜，以倏逝波形式射入腔体内，经第一反射面全反射后，正入射在第二反射面上，光束被第二反射面反射后返回到第一反射面，经第一反射面全反射后返回到耦合面，在耦合面处发生全反射，同时生成倏逝波形式的透射光束，经耦合面全反射的光束正入射在第二反射面上，光束被第二反射面反射后经原路返回到耦合面，经耦合面全反射后再入射到第一反射面上进行全反射，实现光束在耦合面、第一反射面和第二反射面之间谐振；所述透射光束沿着与入射光束共线反向的方向射出；其中，第二反射面的曲率半径等于光束在耦合面、第一反射面和第二反射面之间谐振一周的光路几何长度的一半。