[发明专利]一种激光器实时控制系统及激光器

摘要

本发明适用于激光器控制领域，提供了一种激光器实时控制系统；包括：实时嵌入式控制器、智能气体单元控制模块、激光器高压电源、高压电源电气保护模块、机械光闸、水流量传感器、水温度传感器、变频器电气保护模块、真空泵、真空泵电气保护模块、三路机体温度传感器、变频器和涡轮分子泵；本发明提供的激光器实时控制系统在激光系统运行时建立多任务的控制，根据系统任务的重要性不同将其任务划分为不同的优先级；当有异常请求时，对任务进行分级，根据其优先等级进行实时处理，并实时的监控各个功能模块，提高了系统的响应速度；提高了系统的实时任务的处理能力；避免了激光器在运行中因为多任务处理不及时而发生意外停机或其它的故障。

主权项

一种激光器实时控制系统，其特征在于，包括：实时嵌入式控制器，分别与所述实时嵌入式控制器连接的智能气体单元控制模块、激光器高压电源、高压电源电气保护模块、机械光闸、水流量传感器、水温度传感器、变频器电气保护模块、真空泵、真空泵电气保护模块和三路机体温度传感器，与所述变频器电气保护模块连接的变频器，以及与所述变频器连接的涡轮分子泵；实时嵌入式控制器对激光器进行实时的控制，根据所述水流量传感器、所述水温度传感器和所述三路机体温度传感器输出的信号判断是否有异常发生，若是，则优先响应异常并启动电气保护模块；真空泵与所述实时嵌入式控制器实时交互，当发生异常时，实时嵌入式控制器启动真空泵电气保护模块，切断真空泵的电源，待异常排除后重新上电。