[发明专利]水浴槽及使用此水浴槽之薄膜沉积装置

摘要

本发明涉及一种水浴槽包括：至少一槽体，装有第一液体；补充槽，装有第二液体；以及输送模块，连接补充槽与至少一槽体。当槽体中的第一液体的液面低于或等于第一位置时，输送模块适于将第二液体输送至槽体内直至第一液体的液面高于或等于第一位置时，输送模块停止将第二液体输送至槽体内。本发明提供的水浴槽可以自动补充液体至槽体，使槽体内的液面保持在一定的高度，温度更加稳定，且操作更加简单。本发明还提供一种薄膜沉积装置，以提升操作便利性。

主权项

一种水浴槽，包括：至少一槽体，装有第一液体；补充槽，装有第二液体；以及输送模块，连接该补充槽与该至少一槽体，当该槽体中的该第一液体的液面低于或等于第一位置时，该输送模块适于将该第二液体输送至该槽体内直至该第一液体的液面高于或等于该第一位置时，该输送模块停止将该第二液体输送至该槽体内。