[发明专利]半导体器件和制造半导体器件的方法无效
申请号: | 201210033879.0 | 申请日: | 2012-02-15 |
公开(公告)号: | CN102646650A | 公开(公告)日: | 2012-08-22 |
发明(设计)人: | 冈本圭史郎;今田忠纮;今泉延弘;渡部庆二 | 申请(专利权)人: | 富士通株式会社 |
主分类号: | H01L23/373 | 分类号: | H01L23/373;H01L23/31;H01L21/58;H01L21/60 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 蔡胜有;董文国 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种半导体器件包括:支持基材、以及利用粘合材料与支持基材接合的半导体元件,所述粘合材料包括:与支持基材和半导体元件接触的多孔金属材料、以及填充于多孔金属材料的至少一部分孔中的钎料。 | ||
搜索关键词: | 半导体器件 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种半导体器件,包括:支持基材;和利用粘合材料与所述支持基材接合的半导体元件,所述粘合材料包括:与所述支持基材和所述半导体元件接触的多孔金属材料;和在所述多孔金属材料的孔的至少一部分中填充的钎料。
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