[发明专利]带有炉口温场维护机构的布里奇曼法单晶生长装置有效
申请号: | 201210022715.8 | 申请日: | 2012-01-04 |
公开(公告)号: | CN103194789A | 公开(公告)日: | 2013-07-10 |
发明(设计)人: | 李榕生;孔祖萍;陈杰;孙杰;谢文婷;周双双;刘燕 | 申请(专利权)人: | 宁波大学 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 315211 浙江省宁波市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及一种带有炉口温场维护机构的布里奇曼法单晶生长装置,属于单晶生长领域。为避免炉口温场扰动,该布里奇曼法单晶生长行业人员习惯地紧闭车间门窗,该习惯,使得车间内有毒气体大量积聚,该状况对相关生产人员构成危害。本案旨在化解该问题。本案装置的结构包括一个布里奇曼法单晶生长炉,要点是,在该布里奇曼法单晶生长炉的周边环绕装设有挡风屏,该挡风屏由一些屏状物组合而成,这些屏状物可以借由滑轮及轨道机构的结合实现轻推之下的滑移运动,由此达成挡风屏的关闭动作或开启动作。当采用本案装置生长单晶时,车间工作人员可以放心地打开车间的门、窗,让车间内外的空气流通,而不用再担心炉口及其周边空气温场发生大幅扰动。 | ||
搜索关键词: | 带有 炉口温场 维护 机构 布里奇曼法单晶 生长 装置 | ||
【主权项】:
带有炉口温场维护机构的布里奇曼法单晶生长装置,该装置的结构包括一个布里奇曼法单晶生长炉,其特征是,在所述布里奇曼法单晶生长炉的周边环绕装设有挡风屏,该挡风屏用于稳定所述布里奇曼法单晶生长炉炉口周边的空气温场,该挡风屏由一些屏状物组合而成,该屏状物的底边装设有一些滑轮,该屏状物的底边经由滑轮与装设在地面的圆弧状轨道滑移邻接,该屏状物的横断面轮廓呈弧线状,装设在地面的圆弧状轨道沿地面环绕在布里奇曼法单晶生长炉周边,该圆弧状轨道的数量在一条以上,每一条圆弧状轨道至少承载一片所述屏状物。
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