[发明专利]图形化衬底专用蓝宝石衬底片加工工艺

摘要

本发明公开了一种图形化衬底专用蓝宝石衬底片加工工艺，包括以下步骤：A.倒角；B.用规格为W14~W20的碳化硼对蓝宝石衬底片进行双面粗研磨；C.用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗；D.用规格为W5~W7的碳化硼对蓝宝石衬底片进行双面细研磨；E.用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗；F.对蓝宝石衬底片进行退火；G.对蓝宝石衬底片正面进行单面研磨；H.用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗；I.对蓝宝石衬底片正面进行单面粗抛光；J.对蓝宝石衬底片正面进行单面精抛光；K.用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗。本发明可以在一种双面研抛机上进行图形化衬底专用蓝宝石衬底片加工过程中的全部研磨和抛光程序，并提高了产品的加工精度。

主权项

一种图形化衬底专用蓝宝石衬底片加工工艺，包括以下步骤：    A倒角：将蓝宝石衬底片边缘修整成圆弧状；B用规格为W14~W20的碳化硼对蓝宝石衬底片进行双面粗研磨；C用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗；D用规格为W5~W7的碳化硼对蓝宝石衬底片进行双面细研磨；E用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗，并将蓝宝石衬底片烘干；F对蓝宝石衬底片进行退火，包括以下步骤：F1将蓝宝石衬底片竖放入电加热炉并加以固定；F2第一次升温：电加热炉升温至300℃~500℃，恒温10~60分钟；F3第二次升温：电加热炉升温至700℃~900℃，恒温10~60分钟；F4第三次升温：电加热炉升温至1200℃~1550℃，恒温60~240分钟；F5第一次降温：电加热炉降温至700℃~900℃，恒温10~60分钟；F6第二次降温：电加热炉降温至300℃~500℃，恒温10~60分钟；F7第三次降温：关闭电加热炉，使其自然冷却；G对蓝宝石衬底片正面进行单面研磨；H用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗；I对蓝宝石衬底片正面进行单面粗抛光；J对蓝宝石衬底片正面进行单面精抛光；K用超声波清洗机对蓝宝石衬底片进行清洗。