[发明专利]一种脱膜工艺在审
| 申请号： | 201210010773.9 | 申请日： | 2012-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN103205785A | 公开（公告）日： | 2013-07-17 |
| 发明（设计）人： | 魏志凌;高小平;潘世弥;吴建 | 申请（专利权）人： | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C25D1/10 | 分类号： | C25D1/10;B08B7/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种脱膜工艺，所述的脱模工艺包括超声脱模和喷淋水洗两种脱模方式，脱模工艺为循环工艺，其循环单元为超声脱膜→喷淋水洗。脱模工艺的循环单元至少为1个，优选为3个循环单元。喷淋水洗包括浸泡和喷淋两步。超声和喷淋水洗两个步骤均使用相同配比的脱模液，该脱模液的主要成分为碱。使用本发明中的脱模工艺，具有如下的优势：能够将电铸开口里面的干膜全部脱净，且对掩模板没有损伤；使用超声振荡，对于形状复杂的、开口多的、开口尺寸小的部位的干膜分解、脱落更有独特功效；成本低廉，便于大规模的使用推广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 工艺 | ||
【主权项】：
一种脱膜工艺，其特征在于，脱模工艺中包括两种脱膜方式：超声脱模和喷淋水洗。
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