[发明专利]侧翻式机械手无效
申请号: | 201210002320.1 | 申请日: | 2012-01-05 |
公开(公告)号: | CN103192375A | 公开(公告)日: | 2013-07-10 |
发明(设计)人: | 徐方;曲道奎;李学威;周道;温燕修;何书龙;郑鋆;王鲁非 | 申请(专利权)人: | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 |
主分类号: | B25J9/08 | 分类号: | B25J9/08 |
代理公司: | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人: | 许宗富 |
地址: | 110168 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 一种侧翻式机械手,包括有壳体、电机、旋转轴及用以抓取晶圆片的手指,所述手指直接固定在旋转轴上,所述电机固定在所述壳体内并具有转动轴,所述旋转轴安装在壳体的一端且与所述转动轴固定一起,所述电机在驱使转动轴转动时能够带动旋转轴转动。上述侧翻式机械手能够使手指在侧翻时更平稳性、定位精度也更高,另外,由于上述侧翻式机械手零部件数量较少,因此成本较低、经济性好。 | ||
搜索关键词: | 侧翻式 机械手 | ||
【主权项】:
一种侧翻式机械手,包括有壳体、电机、旋转轴及用以抓取晶圆片的手指,其特征在于:所述手指直接固定在旋转轴上,所述电机固定在所述壳体内并具有转动轴,所述旋转轴安装在壳体的一端且与所述转动轴固定一起,所述电机在驱使转动轴转动时能够带动旋转轴转动。
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