[其他]层叠装置有效
申请号: | 201190000368.8 | 申请日: | 2011-01-07 |
公开(公告)号: | CN203157142U | 公开(公告)日: | 2013-08-28 |
发明(设计)人: | 市川道春;中村真规 | 申请(专利权)人: | 日清纺精密机器株式会社 |
主分类号: | B29C65/02 | 分类号: | B29C65/02;H01L31/042;B29L9/00;B29L31/34 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 刘建 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本实用新型的目的在于提供一种层叠装置,其所使用的热板可使层叠加工中的被加工物内的温度均等。本实用新型的层叠装置具有通过按压部件分隔开的上腔室及下腔室,被加工物(10)承载于下腔室中设置的热板(20)上,通过热板(20)加热被加工物(10),使下腔室成为真空并向上腔室导入空气后,通过热板(20)及按压部件对被加工物(10)进行夹压、层叠;热板(20)中设置有由多组加热器(203)或多组成对的加热器(203)及加热管(204)构成的加热部;每组或每多组加热器、或每组或每多组加热器及加热管,设置有一个以上的温度传感器(207),分别对多个加热器进行温度控制,从而可均等地对热板及被加工物内的温度进行控制。 | ||
搜索关键词: | 层叠 装置 | ||
【主权项】:
一种层叠装置,具有通过按压部件分隔开的上腔室及下腔室,被加工物承载于下腔室中设置的热板上,通过所述热板加热的所述被加工物在使所述下腔室成为真空并向所述上腔室导入空气后被所述热板及所述按压部件夹压、层叠,其特征在于: 所述热板内设置有多组加热器或设置有多组成对的加热器及加热管;每组或每多组加热器及加热管,设置有一个以上的温度传感器,分别对多个加热器进行温度控制。
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