[实用新型]直驱固晶焊头机构有效
申请号: | 201120469687.5 | 申请日: | 2011-11-23 |
公开(公告)号: | CN202332794U | 公开(公告)日: | 2012-07-11 |
发明(设计)人: | 梁国康;梁国城;唐军成;卢炳昌;王燕 | 申请(专利权)人: | 先进光电器材(深圳)有限公司 |
主分类号: | H01L21/00 | 分类号: | H01L21/00;H01L21/50;H01L21/677;F16H21/18 |
代理公司: | 深圳市博锐专利事务所 44275 | 代理人: | 张明 |
地址: | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开一种直驱固晶焊头机构,包括固晶臂及用于驱动所述固晶臂的驱动机构,所述驱动机构包括旋转电机、基板、Z向电机、Z向电机座、偏心轴、连杆、直线导轨、交叉滚子导轨、Z向连接轴、轴座、交叉滚子导轨座、固晶臂座;固晶臂固定安装于固晶臂座上,固晶臂座通过交叉滚子导轨安装于交叉滚子导轨座上,固晶臂座还与Z向连接轴固定连接;旋转电机带动交叉滚子导轨座旋转从而驱动固晶臂旋转,Z向电机的旋转运动经偏心轴和连杆带动Z向连接轴上下运动从而实现固晶臂的上下运动。本实用新型采用直接驱动的方式,电机负载小,可以实现固晶臂的高速度、高精度位置控制,并且该直驱固晶焊头机构的结构件少,组装简单。 | ||
搜索关键词: | 直驱固晶焊头 机构 | ||
【主权项】:
一种直驱固晶焊头机构,包括固晶臂及用于驱动所述固晶臂的驱动机构,其特征在于,所述驱动机构包括旋转电机、基板、Z向电机、Z向电机座、偏心轴、连杆、直线导轨、交叉滚子导轨、Z向连接轴、轴座、交叉滚子导轨座、固晶臂座;所述固晶臂固定安装于所述固晶臂座上;所述旋转电机固定于所述基板上,所述Z向电机固定于所述Z向电机座上,且所述Z向电机座固定于基板上;交叉滚子导轨座固定连接旋转电机的动力输出轴,交叉滚子导轨安装于所述交叉滚子导轨座上,且交叉滚子导轨的外轨与交叉滚子导轨座固定,交叉滚子导轨的内轨固定连接所述固晶臂座;所述偏心轴的一端连接Z向电机的动力输出轴,偏心轴另一端连接连杆的一端,连杆的另一端固定连接轴座,轴座可滑动地安装于所述直线导轨上,所述直线导轨固定于所述Z向电机座上;Z向连接轴的一端可旋转地安装于轴座中,另一端固定连接所述固晶臂座。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造