[实用新型]压电薄膜式加速度传感器

摘要

本实用新型涉及一种加速度传感器。本实用新型可以解决现有技术中加速度传感器受温度影响大、灵敏度低的问题，其技术方案要点是，压电薄膜式加速度传感器，包括电压输出单元、悬臂梁和质量块，质量块与悬臂梁固定连接，悬臂梁自由端的上表面固定有上压电薄膜，悬臂梁自由端的下表面固定有下压电薄膜，上压电薄膜的上表面和下表面涂设有一对位置相对应的上导电层，下压电薄膜的上表面和下表面涂设有一对位置相对应的下导电层，上导电层电连接有第一电荷放大器，下导电层电连接有第二电荷放大器，第一电荷放大器和第二电荷放大器电连接有运算电路，运算电路的输出端与电压输出单元电连接。本实用新型不受温度影响、测量精度高、反应速度快。

主权项

一种压电薄膜式加速度传感器，包括电压输出单元（10）、悬臂梁（1）和质量块（2），所述的质量块（2）固定连接在悬臂梁（1）自由端上表面的一侧，其特征在于：所述悬臂梁（1）自由端的上表面另一侧固定有上压电薄膜（3），所述悬臂梁（1）自由端的下表面固定有下压电薄膜（4），所述上压电薄膜（3）的上表面和下表面涂设有一对位置相对应的上导电层（5），所述下压电薄膜（4）的上表面和下表面涂设有一对位置相对应的下导电层（6），所述的上导电层（5）电连接有第一电荷放大器（7），所述的下导电层（6）电连接有第二电荷放大器（8），所述第一电荷放大器（7）和第二电荷放大器（8）的输出端电连接有运算电路，所述运算电路的输出端与电压输出单元（10）电连接。