[实用新型]一种非制冷式红外焦平面阵列探测器

摘要

本实用新型涉及一种非制冷式红外焦平面阵列探测器，结构为桥腿的一边端部与桥面连接在一起，另一边端部通过锚柱连接在基底上；所述的基底为读出集成电路衬底，表面上设有反射膜层；所述的桥面是悬空在反射膜层的正上方，并与基底之间形成真空间隙层；所述的桥腿设置在桥面相对应的二侧上，且桥腿与桥面各自的下表面分布于同一平面上。所述的桥面从下到上依次为支撑层、吸收层、绝缘层、热敏感层和保护层；桥腿从下到上依次为热阻层、导电层和钝化层。所述的锚柱由金属钨柱和氧化硅柱组成，该锚柱从内到外依次是金属钨和氧化硅材料。本实用新型的锚柱是一种新型锚柱，相比传统填充工艺形成的锚柱来说，缩小了锚柱所占的面积，并且降低了工艺难度。

主权项

一种非制冷式红外焦平面阵列探测器，包括基底、桥面及桥腿，其特征在于：所述的桥腿的一边端部与桥面连接在一起，另一边端部通过锚柱连接在基底上；所述的基底为读出集成电路衬底，表面上设有反射膜层；所述的桥面是悬空在反射膜层的正上方，并与基底之间形成真空间隙层。