[发明专利]一种反应腔室喷淋系统

摘要

本发明涉及一种反应腔室喷淋系统，具体地讲是涉及一种低压化学气相沉积反应腔室的可移动式喷淋系统。该系统在反应腔室腔盖上固定有一套可使喷淋装置上下移动的机构，进水管路和气体管路通过该机构与喷淋装置连通。该系统结构相对简单，实现了喷淋装置的可移动化，可以通过调节工艺距离来控制镀膜质量，提高了生产的稳定性；同时将工艺气体安全可靠的送入喷淋系统，解决了工艺气体从外部接入到喷淋头系统的难题，提高了生产的安全性，且易于维护。

主权项

一种反应腔室喷淋系统，其特征在于在反应腔室腔盖上固定有一套可使喷淋装置上下移动的机构，进水管路和气体管路通过该机构与喷淋装置连通。