[发明专利]一种晶棒粘棒用清洗液及使用该清洗液的粘棒工艺无效
| 申请号： | 201110458003.6 | 申请日： | 2011-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN102586034A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 张驰;熊震;付少永;王梅花 | 申请（专利权）人： | 常州天合光能有限公司 |
| 主分类号： | C11D1/83 | 分类号： | C11D1/83;C11D1/10;C11D1/66;C30B33/06 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 王凌霄 |
| 地址： | 213031 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种晶棒粘棒用清洗液及使用该清洗液的粘棒工艺。清洗液的配比为：羟乙基纤维素∶丙二胺四乙酸∶去离子水＝(0.1％-1.6％)∶(1％-6％)∶(92.4％-98.9％)。一种晶棒粘棒工艺，包括下列步骤：第一步、晶棒前处理；第二步、使用清洗液在超声机中超声清洗晶棒：第三步、漂洗；第四步、使用清洗液在超声机中超声清洗玻璃板；第五步、漂洗；第六步、粘棒。通过该清洗液清洗的晶棒和玻璃板能确保去除黏附在晶棒和玻璃板表面的油污和微小硅粉等杂质颗粒，同时确保清洗后晶棒表面具有良好的润湿性能，降低空气中粉尘等杂质颗粒在晶棒表面的黏附力，改善晶棒和玻璃板表面的洁净度以及附着力，从而降低硅片切割过程中的脱胶掉棒现象，提高切片收益率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶棒粘棒用 清洗 使用 工艺 | ||
【主权项】：
一种晶棒粘棒用清洗液，其特征是：所述的清洗液为水溶性聚合物，配比为：羟乙基纤维素∶丙二胺四乙酸∶去离子水＝(0.1％‑1.6％)∶(1％‑6％)∶(92.4％‑98.9％)。
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