[发明专利]一种检测法拉第工作状态的方法在审
| 申请号： | 201110456274.8 | 申请日： | 2011-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN103185893A | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 胡东京 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01T1/29 | 分类号： | G01T1/29 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市中关村科*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种检测法拉第工作状态的方法，该方法是在离子注入机测束法拉第上面安装状态检测装置，然后通过设定自检电路进行检测。此检测装置包括：一绝缘块盖板(1)，一绝缘块(2)，一传感铜片(3)，一绝缘块支架(4)，和一法拉第自检电路(5)。本发明能够检测法拉第是否处于正常工作状态，确保法拉第测量束流的准确性，提高了离子注入机的可靠性。本发明涉及离子注入装置，隶属于半导体制造领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 法拉第 工作 状态 方法 | ||
【主权项】：
一种检测法拉第工作状态的方法，该方法利用检测装置安装在离子注入机的测束法拉第上，对法拉第的状态进行检测，以确保法拉第能正常进行测束工作。其特征在于：利用检测装置和电路，在法拉第测量束流前预先检测其本身状态，自检正常则可以正常测量束流，如自检为非正常状态，则法拉第已经损坏，不能正常测束或测量不准，须立即更换。避免在法拉第损坏状态下导致束流测量不准，或设备损坏等问题。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京中科信电子装备有限公司，未经北京中科信电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110456274.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
