[发明专利]超长光栅尺辊压模具表面图形化的快速加工方法

摘要

本发明公开一种超长光栅尺辊压模具表面图形化的快速加工方法，包括以下步骤：1)选择辊压模具，2)辊压模具清洗，3)辊压模具表面涂胶，4)辊压模具前烘处理，5)辊压模具的固定，6)掩膜版的选取和调整，7)曝光。本发明采用曝光拼接的旋转曝光技术，将掩膜版上的光栅微结构图形转移至辊压模具表层的光刻胶上面，显影过后，辊压模具表面形成一层光栅结构图形化掩蔽层，再利用刻蚀或者电铸的方法，将此图形化掩蔽层复制到辊压模具表面上；运用此模具，可以利用辊压印或者逆辊压印的方法，将此表面的光栅微结构连续的复制的光栅尺胚上面，实现了超长光栅的连续制造。此种方法对外部环境要求较低，生产效率高，从而有效降低光栅尺的制造成本。

主权项

超长光栅尺辊压模具表面图形化的快速加工方法，其特征在于，包括以下步骤：1)选择合适的辊压模具：选择圆筒状辊压模具；2)辊压模具表面的清洗：超声波清洗去除辊压模具表面的油污和颗粒杂质；3)辊压模具表面涂胶：采用提拉法在辊压模具表面形成一层均匀的光刻胶；4)辊压模具前烘处理：将辊压模具放入烘箱中前烘，挥发掉光刻胶中的溶剂；5)辊压模具的固定：将辊压模具固定到旋转平台上，并通过调整旋转平台上面XY双向位移调整台，使辊压模具的回转中心线与旋转平台回转中心线重合；6)掩膜版的选取和调整：将具有栅线微结构的掩膜版固定到掩膜版支架上，掩膜版的曲率半径和辊压模具的外径相同，通过掩膜版支架下面的多自由度调整机构，使掩膜版保持竖直方向，并与辊压模具的外圆周面相切；7)辊压模具曝光：利用紫外光源发出的紫外光线穿过掩膜版上的微结构对辊压模具上的光刻胶进行曝光。